+7 (495) 783-39-64, 8 800 777-48-96 (с 9:00 до 17:00) Заказать звонок E-mail: diagnost@diagnost.ru Скачать КАТАЛОГ

Применение тиристорных регуляторов мощности Thyro при выращивании монокристаллов по процессу Чохральского

Печи для выращивания кристаллов по процессу Чохральского обычно разрабатываются для осесимметричного температурного распределения в зоне кристаллизации.

Однако нагреватели и стержни, обеспечивающие подведение электрического тока создают неоднородное высвобождение тепла. Температура в зоне контроля должна контролироваться с высокой точностью.

Процесс Чохральского:

  • Полностью тепловая и/или индуктивная плавка поликремния
  • Введение затравочного кристалла
  • Начало кристаллического роста
  • Вытягивание кристалла

Выращивание монокристаллического слитка

Решение: Вакуумная печь для массового производства монокристаллов

  • Система контроля: PLC/PC
  • Мощность: 220 — 300 кВA
  • Скорость вытягивания:  ~ 1 — 200 мм/мин
  • Длина слитка: ~ 2.5м.
  • Температура: > 1450 °C

Моделирование теплообмена при выращивании

3D распределение температуры в боковых и нижних нагревателях

3D распределение температуры в зоне кристаллизации

Функция регулятора мощности

Цифровой тиристорный регулятор мощности SCR Thyro-A до 1500А | Advanced Energy
Надежный и точный регулятор мощности серии Thyro-A предназначен для решения широкого спектра задач, требующих контроля напряжения, мощности и тока.
Цифровой тиристорный регулятор мощности SCR THYRO-PX до 2900А | Advanced Energy
Thyro-PX представляет собой тиристорный регулятор мощности с возможностью коммуникации и может применяться в 1-фазных и 3-фазных сетях, где необходима точная регулировка напряжения, тока или мощности.
©1991-2021 OOO «Диагност» | +7 (495) 783-39-64 | 8 800 777-48-96 | diagnost@diagnost.ru | 105187, г. Москва, Окружной проезд, дом 15, корп. 2
Поставляем диагностическое оборудование и контрольно-измерительные приборы во все регионы России (Барнаул, Владивосток, Волгоград, Воронеж, Екатеринбург, Ижевск, Иркутск, Казань, Краснодар, Красноярск, Москва, Нижний Новгород, Новосибирск, Омск, Пермь, Ростов-на-Дону, Самара, Санкт-Петербург, Саратов, Тольятти, Тюмень, Ульяновск, Уфа, Хабаровск, Челябинск, Ярославль) через курьерские службы Гарантпост и СДЭК (возможна доставка и через другие сервисы).
Информация на сайте носит информационный характер и не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 Гражданского кодекса Российской Федерации. Технические параметры приборов и оборудования могут быть изменены производителями. Уточняйте информацию у наших специалистов.